[发明专利]谐振器的制造方法在审
| 申请号： | 201580070969.9 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107112967A | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 梅田圭一;山田宏;会田康弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H3/007 | 分类号： | H03H3/007;B81B3/00;B81C1/00;H03H9/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 舒艳君,李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够有效地应对各晶圆的电阻率的偏差的谐振器的制造方法。谐振器的制造方法包括在处于简并状态的Si晶圆的表面形成Si氧化膜的步骤，Si氧化膜的厚度根据Si晶圆的杂质的掺杂量来设定。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种谐振器的制造方法，其中，包括在处于简并状态的Si晶圆的表面形成Si氧化膜的步骤，所述Si氧化膜的厚度根据所述Si晶圆的杂质的掺杂量来设定。
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