[发明专利]度量方法、计算机产品和系统有效
| 申请号： | 201580071813.2 | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN107111250B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | A·J·登博夫;K·布哈塔查里亚 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;崔卿虎 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种方法包括根据目标的测量值来确定目标的结构不对称的类型，以及执行目标的光学测量的模拟以确定与不对称类型相关联的不对称参数的值。一种方法包括执行目标的光学测量的模拟以确定与根据目标的测量值确定的目标的结构不对称的类型相关联的不对称参数的值，以及分析不对称参数对于与目标相关联的目标形成参数的变化的敏感度。一种方法包括使用被目标衍射的辐射的测量参数来确定目标的结构不对称参数，以及基于对于与目标相关联的目标形成参数的变化最不敏感的结构不对称参数来确定目标的测量光束的属性。 | ||
| 搜索关键词： | 度量 方法 计算机 产品 系统 | ||
【主权项】：
1.一种计量方法，包括：根据目标的测量值来确定所述目标的结构不对称的类型；以及执行所述目标的光学测量的模拟以确定与所述不对称类型相关联的不对称参数的值，其中所述不对称参数包括使用所述目标的测量的由于所述不对称而导致的位置偏移。
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