[发明专利]去钻污处理方法和多层印刷布线板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201580074733.2 申请日: 2015-11-26
公开(公告)号: CN107211542B 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 藤村诚;伊贺隆志 申请(专利权)人: 英特尔公司
主分类号: H05K3/42 分类号: H05K3/42;H05K1/03
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 童春媛;杨思捷
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的目的在于提供一种在抑制基板表面粗糙的同时,能够将钻污充分地除去的去钻污处理方法。本发明的去钻污处理方法,是从形成有孔穴的基板将钻污除去的去钻污处理方法,所述处理方法包含以下的步骤:第一去钻污处理步骤,其是将钻污的一部分溶解或分解;及第二去钻污处理步骤,其是在第一去钻污处理步骤之后,将基板进行超声波处理。而且,在第二去钻污处理步骤中,实施在超声波处理中使超声波频率变动、及使超声波的振荡源与基板在2个以上的方向相对地移动的至少一方。
搜索关键词: 去钻污 处理 方法 多层 印刷 布线 制造
【主权项】:
去钻污处理方法,其是从形成有孔穴的基板将钻污除去的去钻污处理方法,所述处理方法包含以下的步骤:第一去钻污处理步骤,其将上述钻污的一部分溶解或分解,及第二去钻污处理步骤,其是在上述第一去钻污处理步骤之后,将上述基板进行超声波处理;在上述第二去钻污处理步骤中,实施以下的至少一方:在上述超声波处理中使超声波频率变动,及使超声波的振荡源与上述基板在2个以上的方向相对地移动。
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