[发明专利]使用提纯装置生产合成石英玻璃的方法有效
申请号: | 201580076185.7 | 申请日: | 2015-12-15 |
公开(公告)号: | CN107250068B | 公开(公告)日: | 2020-01-14 |
发明(设计)人: | H.劳达恩;K-U.巴德克;M.特罗默 | 申请(专利权)人: | 贺利氏石英玻璃股份有限两合公司 |
主分类号: | C03B19/14 | 分类号: | C03B19/14 |
代理公司: | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 张华;杨思捷 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及使用特殊清洁装置生产合成石英玻璃的方法、包含特殊提纯装置的用于生产合成石英玻璃的装置、多孔二氧化硅颗粒的散积物用于提纯用于生产合成石英玻璃的原料蒸气的用途,以及通过本发明的方法获得的合成石英玻璃。 | ||
搜索关键词: | 使用 提纯 装置 生产 合成 石英玻璃 方法 | ||
【主权项】:
1.生产合成石英玻璃的方法,其包含下列工艺步骤:/n(a) 蒸发含有至少一种可聚合的聚烷基硅氧烷化合物的原料,形成原料蒸气;/n(b) 使由工艺步骤(a)产生的原料蒸气经过至少一个提纯装置,以提纯所述原料蒸气;/n(c) 将由工艺步骤(b)产生的经提纯的原料蒸气供往反应区,在其中通过氧化和/或通过水解将所述原料蒸气转化成SiO
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