[发明专利]带电粒子束装置及带电粒子束装置的控制方法

摘要

本发明的带电粒子束装置(1)具备：载台驱动部(14)，其驱动载台(13)；检测器(16)，其检测从试样(SAMP)射出的带电粒子；第一图像传输部(20)，其利用第一图像传输协议传输来自所述检测器的信号；第二图像传输部(21)，其利用第二图像传输协议传输来自所述检测器的信号；以及切换部(23)，其基于所述载台的状态切换使用所述第一图像传输部和所述第二图像传输部。所述第一图像传输协议的可靠性比所述第二图像传输协议高，所述第二图像传输协议的传输速度比所述第一图像传输协议快。通过根据载台的状态切换使用多个图像传输部，提高对于载台移动的追随性和通信的抗故障性。

主权项

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：电子束源，其向载台上的试样照射带电粒子束；载台驱动部，其驱动所述载台；检测器，其检测从所述试样释放的带电粒子；第一图像传输部，其利用第一图像传输协议将来自所述检测器的信号作为图像数据传输；第二图像传输部，其利用第二图像传输协议将来自所述检测器的信号作为图像数据传输；切换部，其基于所述载台的状态切换使用所述第一图像传输部和所述第二图像传输部；以及终端，其显示经由通信网络从所述第一图像传输部或所述第二图像传输部接收的图像数据，其中，所述第一图像传输协议是可靠性比所述第二图像传输协议高的协议，所述切换部在判定出所述载台的状态为停止过程中的情况下，选择所述第一图像传输部；所述第二图像传输协议是传输速度比所述第一图像传输协议快的协议，所述切换部在判定出所述载台的状态为移动过程中的情况下，选择所述第二图像传输部。