[发明专利]用于测量沉积速率的方法及沉积速率控制系统在审
| 申请号： | 201580080549.9 | 申请日： | 2015-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN107709604A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;海克·兰特格雷夫;托马斯·科赫;斯蒂芬·班格特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述一种用于测量蒸发材料的沉积速率的方法(100)。所述方法包括以第一测量M1与第二测量M2之间的一时间间隔ΔT测量(110)沉积速率；以及根据所测量的沉积速率调整(120)时间间隔ΔT。此外，描述一种沉积速率控制系统(200)。所述沉积速率控制系统包括沉积速率测量组件(210)，用于测量蒸发材料的沉积速率；以及控制器(220)，连接至沉积速率测量组件(210)且连接至蒸发源(300)，其中控制器被配置为提供控制信号至沉积速率测量组件(210)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 沉积 速率 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
一种用于测量蒸发材料的沉积速率的方法(100)，所述方法包括‑以第一测量与第二测量之间的一时间间隔测量(110)所述沉积速率，及‑根据所测量的沉积速率调整(120)所述时间间隔。
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