[发明专利]用于基板的自锁保持器在审
| 申请号： | 201580081234.6 | 申请日： | 2015-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN107810288A | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 安德烈·布鲁宁;拉尔夫·林登贝格 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了经构造以附接到载体主体(160)以用于保持基板(101)的保持器(200)。保持器(200)包括具有第一倾斜表面(212)的第一部分(210)，所述第一部分(210)经构造以附接到载体主体(160)；第二部分(220)，所述第二部分(220)经构造而在至少一个方向(X)上相对于第一部分(210)是可移动的。第一倾斜表面(212)相对于待加载的基板(101)以第一角度(α)倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 保持 | ||
【主权项】：
一种保持器(200)，经构造而附接到载体主体(160)以用于保持基板(101)，所述保持器(200)包括：第一部分(210)，所述第一部分(210)具有第一倾斜表面(212)，所述第一部分(210)经构造而被附接到所述载体主体(160)；以及第二部分(220)，所述第二部分(220)经构造而在至少一个方向(X)上相对于所述第一部分(210)是可移动的，其中所述第一倾斜表面(212)相对于待加载的基板(101)以第一角度(α1)倾斜。
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