[发明专利]支承销和成膜装置

摘要

本发明提供抑制破损的支承销和具有该支承销的成膜装置。支承销具有支承基板的头部和支承该头部的支承筒，上述头部和支承筒分别设置有供用于将上述头部和支承筒联结的联结构件插入的贯通孔，上述支承销布置于用于在上述基板上形成膜的成膜装置的反应室中，上述头部具有载置上述基板的载置部和从该载置部突出并被插入上述支承筒的端部的插入部，上述插入部具有在上述支承筒的径向上的尺寸比上述支承筒的内径大的大尺寸部分，在上述支承筒的上述端部设置有供上述大尺寸部分插入的沟槽。

主权项

支承销，其具有：支承基板的头部和支承该头部的支承筒，在所述头部和支承筒分别设置有供用于将所述头部和支承筒联结的联结构件插入的贯通孔，所述支承销布置于用于在所述基板上形成膜的成膜装置的反应室中，其特征在于，所述头部具有：载置所述基板的载置部和从所述载置部突出并被插入所述支承筒的端部的插入部，所述插入部具有在所述支承筒的径向上的尺寸比所述支承筒的内径大的大尺寸部分，在所述支承筒的所述端部设置有供所述大尺寸部分插入的沟槽。