[发明专利]光学干涉仪

摘要

光学干涉仪(1A)具备分支合波部(10)、第一光学系统(20)、第二光学系统(30)以及驱动部(40)。分支合波部(10)在透明构件的内部与外部之间的边界具有分支面(11)、入射面(12)、第一出射面(13)、合波面(14)以及第二出射面(15)，在分支面(11)上使入射光(L0)的一部分反射并作为第一分支光(L11)出射并且将剩余部分作为第二分支光(L21)向内部透过，在合波面(14)上对第一分支光(L12)以及第二分支光(L22)各自一部分进行合波并作为第一合波光(L3)向外部出射，并且对各个剩余部分进行合波并作为第二合波光(L4)向内部传播，在第二出射面(15)上使第二合波光(L4)的一部分(L41)向外部出射。由此，实现了能够降低过量损失的比例的光学干涉仪。

主权项

一种光学干涉仪，其特征在于：具备分支合波部、第一光学系统、第二光学系统以及驱动部，所述分支合波部在透明构件的内部与外部之间的边界具有分支面、入射面、第一出射面、合波面以及第二出射面，所述分支面和所述合波面是不同的面，所述分支合波部在所述分支面上使从外部入射的入射光的一部分反射并作为第一分支光出射，并且将剩余部分作为第二分支光向内部透过，所述分支合波部在所述入射面上使从所述分支面经所述第一光学系统入射的所述第一分支光向内部透过，所述分支合波部在所述第一出射面上使从所述分支面经内部到达的所述第二分支光向外部出射，所述分支合波部在所述合波面上对从所述入射面经内部到达的所述第一分支光以及从所述第一出射面经所述第二光学系统入射的所述第二分支光中的各自一部分进行合波并作为第一合波光向外部出射，并且对各自剩余部分进行合波并作为第二合波光向内部传播，所述分支合波部在所述第二出射面上使从所述合波面经内部到达的所述第二合波光的一部分向外部出射，所述第一光学系统由镜使从所述分支面出射的所述第一分支光反射并入射到所述入射面，所述第二光学系统由镜使从所述第一出射面出射的所述第二分支光反射并入射到所述合波面，所述驱动部使所述第一光学系统或者所述第二光学系统的任意的镜移动并调整从所述分支面到所述合波面为止的所述第一分支光以及所述第二分支光各自的光路长的差。