[发明专利]带电粒子显微镜的观察辅助单元以及使用该观察辅助单元的试料观察方法

摘要

为了以良好的便利性在大气气氛或气体气氛或所希望的压力下观察含水试料，本发明提供一种观察辅助单元，其用于对配置在非真空空间内的试料照射带电粒子束来进行观察，该非真空空间利用隔膜与产生带电粒子束的带电粒子光学镜筒的内部空间隔离。该观察辅助单元包括形成观察试料(6)的观察区域的孔部(501a)、以及将所述试料覆盖的主体部(502b)，并在所述试料(6)与所述隔膜之间，直接放置在所述试料上。

主权项

1.一种观察辅助单元，用于对配置在非真空空间内的试料照射带电粒子束来进行观察，该非真空空间利用隔膜与产生带电粒子束的带电粒子光学镜筒的内部空间隔离，其特征在于，包括：孔部，该孔部形成对所述试料进行观察的观察区域；以及主体部，该主体部覆盖所述试料，该观察辅助单元在所述试料与所述隔膜之间，并直接放置在所述试料上，所述孔部小于对所述隔膜进行保持的隔膜保持构件的大小。