[发明专利]相对压力传感器有效
| 申请号： | 201580084006.4 | 申请日： | 2015-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN108463703B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | M·W·库姆比;陈健华 | 申请（专利权）人： | 惠普发展公司;有限责任合伙企业 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/06;G01L7/08;B41J2/175 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 林金朝;王英 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 示例提供了一种包括相对压力传感器的设备，所述相对压力传感器包括衬底以及处于所述衬底的面中的腔。所述腔具有处于所述衬底中的底面。通道从所述腔延伸出来。隔膜支撑压力感测器件，并且被安装至所述衬底并与所述底面相对。 | ||
| 搜索关键词： | 相对 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种设备，包括：相对压力传感器，所述相对压力传感器包括：衬底；处于所述衬底的面中的腔，所述腔具有处于所述衬底中的底面；从所述腔延伸的通道；以及支撑压力感测器件的隔膜，所述隔膜被安装至所述衬底并与所述底面相对。
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