[发明专利]取样量测系统及其取样量测方法

摘要

一种取样量测系统及其取样量测方法，本发明通过预先设定第一量测方案和第二量测方案，所述第一量测方案中取样率大于所述第二量测方案中的取样率，在判断所述批次在制品是高风险批次在制品，并且判断量测产能充足时，采用取样率较大的第一量测方案，能够及时了解工艺表现，降低产品报废率，提高制造良品率；在判断所述批次在制品不是高风险批次在制品，或者判断量测产能不足时，采用取样率较小的第二量测方案，以缩短产品生产周期。因此本发明可以基于所述批次在制品的量测信息，对所述批次在制品进行工艺风险评估。根据所述批次在制品的工艺风险高低，选择采用不同采样率的量测方案，能够兼顾缩短产品生产周期和及时反馈工艺表现的要求。

主权项

1.一种取样量测方法，其特征在于，包括：获取批次在制品，并根据所述批次在制品获取所述批次在制品的量测信息；基于所述批次在制品的量测信息，对所述批次在制品进行工艺风险评估，以判断所述批次在制品是否为高风险批次在制品；在判断所述批次在制品是高风险批次在制品时，判断量测产能是否充足；在判断所述量测产能充足时，采用预设的第一量测方案；在判断所述量测产能不足时，采用预设的第二量测方案；在判断所述批次在制品不是高风险批次在制品时，采用所述第二量测方案；所述第一量测方案中取样率大于所述第二量测方案中的取样率。