[发明专利]压印装置及物品的制造方法有效
| 申请号： | 201610006914.8 | 申请日： | 2016-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN105759565B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 服部正 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 11293 北京怡丰知识产权代理有限公司 | 代理人： | 迟军<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供压印装置及物品的制造方法。该压印装置通过使用模具来对基板上的压印材料形成图案，所述压印装置包括：测量单元，其被构造为在与使所述模具与所述压印材料接触的第一位置不同的第二位置，测量所述基板的面的倾斜；以及控制单元，其被构造为在使所述模具与所述压印材料在所述第一位置接触时，控制所述模具的面和所述基板的面中至少一者的倾斜，其中，所述控制单元基于表示在所述第一位置和所述第二位置的基准基板的面的倾斜的信息以及由所述测量单元获得的测量结果，来控制所述至少一者的倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，所述压印装置包括：/n台，其被构造为在保持所述基板的情况下能够沿底座的面移动；/n驱动单元，其被构造为在所述台布置在所述底座的第一位置的状态下，相对地驱动所述模具和所述基板，以使所述模具与所述基板上的压印材料彼此接触，其中，布置在所述第一位置的所述台位于所述模具的下方；/n测量单元，其被构造为在所述台布置在所述底座的与所述第一位置不同的第二位置的状态下，测量由所述台保持的所述基板的倾斜，其中布置在所述第二位置的台不位于所述模具的下方；以及/n控制单元，其被构造为当在所述台布置在所述第一位置的状态下使所述模具与所述压印材料接触时，基于表示在所述第一位置的所述基板的倾斜与在所述第二位置的所述基板的倾斜之间的差的信息，以及所述测量单元的测量结果，来控制所述模具与所述基板之间的相对倾斜。/n
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