[发明专利]压印装置、压印方法以及物品的制造方法有效
| 申请号： | 201610007113.3 | 申请日： | 2016-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN105759566B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 藤本正敬;山崎拓郎;船吉智美;山口裕充 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 11293 北京怡丰知识产权代理有限公司 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供压印装置、压印方法以及物品的制造方法。所述压印装置通过使用模具来对基板上的压印材料形成图案，所述压印装置包括：倾斜单元，其被构造为使所述模具和所述基板相对地倾斜；检测单元，其被构造为检测由所述模具反射的光与由所述基板反射的光之间的干涉图案；以及控制单元，其被构造为，基于在所述模具与所述基板上的压印材料彼此接触的状态下、由所述检测单元检测到的所述干涉图案，控制所述倾斜单元，以减小在所述状态下、所述模具和所述基板之间的相对倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 方法 以及 物品 制造 | ||
【主权项】：
1.一种通过使用模具来对基板上的压印材料形成图案的压印装置，所述压印装置包括：/n倾斜单元，其被构造为使所述模具和所述基板相对地倾斜；/n检测单元，其被构造为检测由所述模具反射的光与由所述基板反射的光之间的干涉图案；以及/n控制单元，其被构造为，基于在所述模具与所述基板上的压印材料彼此接触的状态下、由所述检测单元检测到的所述干涉图案，控制所述倾斜单元，以减小在所述状态下、所述模具和所述基板之间的相对倾斜，/n其中，所述控制单元指定所述干涉图案在所述模具的图案存在的区域中的相对位置，并且基于所述干涉图案的相对位置来控制所述倾斜单元，使得所述模具与所述基板相对地倾斜。/n
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