[发明专利]一种激光脉冲延时系统和激光退火系统

摘要

本发明公开了一种激光脉冲延时系统和激光退火系统，包括设置在传输光路上的分光单元、第一反射单元和延时单元，分光单元用于将激光器发射的激光光束进行分光，分成第一基准光和第二基准光，并将第一基准光传输至第一反射单元，将第二基准光传输至延时单元；第一反射单元用于将接收到的第一基准光反射至待照射的部件；延时单元用于将接收到的第二基准光进行延时后传输至待照射的部件。由于在对激光器发射的光束进行延时，使分成的两束基准光能够分别照射到待照射的部件上，因而使得在一个激光脉冲周期内，照射到待照射的部件上的总脉冲时长大于激光器发射的激光光束的脉冲时长，延长了激光器一次照射的时长，提高了激光工作能量的利用率。

主权项

一种激光脉冲延时系统，其特征在于，包括：设置在激光光束的传输光路上的分光单元、第一反射单元和延时单元，其中，所述分光单元，用于将激光器发射的激光光束进行分光，分成第一基准光和第二基准光，并将所述第一基准光传输至所述第一反射单元，以及将所述第二基准光传输至所述延时单元；所述第一反射单元，用于将接收到的所述第一基准光反射至待照射的部件；所述延时单元，用于将接收到的所述第二基准光进行延时后，传输至所述待照射的部件；其中，在一个激光脉冲周期内，照射到所述待照射的部件上的激光光束的总脉冲时长大于所述激光器发射的激光光束的脉冲时长。