[发明专利]基板清洗方法

摘要

本发明提供一种基板清洗方法，通过在干燥过程中将基板(10)设置为不同的倾斜角度和不同的倾斜模式，采用传统风刀装置(40)对基板(10)上残留的清洗水进行彻底清除；或者在干燥过程中采用调频风刀装置(70)作为第一道吹干工序的风刀装置，采用传统风刀装置(40)作为第二道吹干工序的风刀装置，通过两道吹干工序对基板(10)上残留的清洗水进行彻底清除，同时可进一步将基板(10)设置为不同的倾斜角度和不同的倾斜模式，防止清洗水回流并且加快干燥速率，避免在后续工序中产生条形mura；另外，由于所述调频风刀装置(70)的高效干燥速率，可以适当提高基板(10)的运输速度，从而加快基板(10)的清洗速度。

主权项

一种基板清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供一基板(10)，采用水溶液对所述基板(10)进行清洗，以去除基板(10)上的污染物；步骤2、提供第二干燥装置，所述第二干燥装置包括对基板(10)进行传送的传送轮、以及对基板(10)上残留的清洗水进行清除的传统风刀装置(40)与调频风刀装置(70)；所述传统风刀装置(40)包括在基板(10)的传送过程中对应于所述基板(10)上方的第一风刀单元(51)以及对应于所述基板(10)下方的第二风刀单元(52)，所述第一风刀单元(51)与第二风刀单元(52)均包括沿水平方向设置的数个风刀(55)，在干燥过程中所述传统风刀装置(40)中的所有风刀(55)同时开启，且在干燥过程中一直保持喷气状态；所述调频风刀装置(70)包括在基板(10)的传送过程中对应于所述基板(10)上方的第三风刀单元(80)以及对应于所述基板(10)下方的第四风刀单元(90)，所述第三风刀单元(80)与第四风刀单元(90)均包括沿水平方向设置的数个风刀(95)，在干燥过程中，所述调频风刀装置(70)中的每个风刀(95)的开启和关闭可以独立进行控制，且每个风刀(95)的气流量和喷气频率可以独立进行调整；步骤3、将待干燥的基板(10)送入所述第二干燥装置中，所述基板(10)依次经过所述调频风刀装置(70)与传统风刀装置(40)，从而所述基板(10)在传送过程中首先采用所述调频风刀装置(70)对基板(10)上残留的清洗水进行初步吹干，然后采用所述传统风刀装置(40)对基板(10)上的残留水渍进行彻底吹干。