[发明专利]照明光学部件、照明系统、投射曝光设备及组件制造方法有效
| 申请号： | 201610034283.0 | 申请日： | 2010-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN105511065B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | H-J.曼;M.恩德雷斯;D.莎弗;B.沃姆;A.赫科默 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B17/06 | 分类号： | G02B17/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈金林 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及照明光学部件、照明系统、投射曝光设备以及制造结构化组件的方法。用于光刻投射曝光的照明光学部件(7；28)，用于具有小于193nm的波长的照明光(3)的光束从辐射源(2)向物平面(5)中的物场(4)中的物体(12)的无分束器引导，所述物体(12)对于所述照明光(3)是反射式的，其特征在于其被设计为使得对于所述物场(4)的至少一个点，所述照明光(3)的光束至所述物场(4)的能量加权光线的入射方向(13)与所述物平面(5)的法线(14)构成小于3°的角度。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 光学 部件 系统 投射 曝光 设备 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.用于光刻投射曝光的照明光学部件(7；28)，用于具有小于193nm的波长的照明光(3)的光束从辐射源(2)向物平面(5)中的物场(4)中的物体(12)的无分束器引导，所述物体(12)对于所述照明光(3)是反射式的，在所述物场(4)之前的照明光路中的最后反射镜(38)包含通孔(40),其特征在于其被设计为使得对于所述物场(4)的至少一个点，所述照明光(3)的光束至所述物场(4)的能量加权光线的入射方向(13)与所述物平面(5)的法线(14)构成小于3°的角度。
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