[发明专利]一种半导体器件及其制备方法、电子装置在审
| 申请号： | 201610040052.0 | 申请日： | 2016-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN106991361A | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 高燕 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所11336 | 代理人： | 高伟,冯永贞 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体器件及其制备方法、电子装置。所述半导体器件包括基底；指纹识别区域，位于所述基底上；底部电极，位于所述指纹识别区域中，所述底部电极的表面设置有若干凹槽图案，以增加所述底部电极的表面积。通过这种方法可使指纹识别电容器下极板面积增大，从而增大顶层铝和手指指纹间的电容，改善指纹识别灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体器件 及其 制备 方法 电子 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体器件，其特征在于，所述半导体器件包括：基底；指纹识别区域，位于所述基底上；底部电极，位于所述指纹识别区域中，所述底部电极的表面设置有若干凹槽图案，以增加所述底部电极的表面积。
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