[发明专利]一种实时检测洁净设备内颗粒含量的系统在审
| 申请号： | 201610044105.6 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN105466827A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 钱湾湾 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 陈雪梅 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实时检测洁净设备内颗粒含量的系统，包括：洁净设备；取样件，其设置在所述洁净设备的内部，用于采集所述洁净设备内的气体样品；测量仪，其设置在所述洁净设备的外部，用于对所述取样件采集的所述气体样品进行检测，以得知所述洁净设备内的颗粒含量；导管，其一端连接所述取样件，另一端连接所述测量仪，用于将所述取样件采集的所述气体样品导出至所述测量仪内。本发明将所述测量仪放置于所述洁净设备外，通过导管将所述取样件所采集的气体样品输送至所述测量仪中，如此，所述洁净设备无需停机就可以实时检测所述洁净设备的颗粒含量，操作简单，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 检测 洁净 设备 颗粒 含量 系统 | ||
【主权项】：
一种实时检测洁净设备内颗粒含量的系统，其特征在于，包括：洁净设备；取样件，其设置在所述洁净设备的内部，用于采集所述洁净设备内的气体样品；测量仪，其设置在所述洁净设备的外部，用于对所述取样件采集的所述气体样品进行检测，以得知所述洁净设备内的颗粒含量；导管，其一端连接所述取样件，另一端连接所述测量仪，用于将所述取样件采集的所述气体样品导出至所述测量仪内。
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