[发明专利]一种双面激光准同步封装系统及封装方法

摘要

本发明涉及一种双面激光准同步封装系统及封装方法，该系统包括激光器，用于发射激光束；夹持装置，用于将待封装基板竖直放置并固定；两个振镜系统，分设于所述待封装基板的两侧，将所述激光器发射的激光束反射至待封装基板的表面；以及两个运动机构，两个振镜系统分别安装于不同的运动机构上，所述运动机构带动其上的振镜系统做垂向和水平向共六个自由度的运动。本发明中，通过在待封装基板的两侧分别设置振镜系统，实现对待封装基板的双面同时封装，避免了多振镜之间的位置及运动的干涉，能够适应各种封装工况，且提高了产率；同时由于基板竖直放置，有效解决了由于基板变形导致的激光束定位不准的问题。

主权项

一种双面激光准同步封装系统，其特征在于，包括：激光器，用于发射激光束；夹持装置，用于将待封装基板竖直放置并固定；两个振镜系统，分设于所述待封装基板的两侧，将所述激光器发射的激光束反射至待封装基板的表面；以及两个运动机构，两个所述振镜系统分别安装于不同的运动机构上，所述运动机构带动其上的所述振镜系统做垂向和水平向共六个自由度的运动。