[发明专利]一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱

摘要

本发明涉及一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱，属于半导体设备制造技术领域。一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱，包括中央支柱体、导流螺杆、O型圈、反应腔顶盖、进水管、出水管、上盖、排气窗和反应腔底座，其特征在于，所述中央支柱体外套有隔热外套。本发明通过在中央支柱体外增加隔热外套，减少反应腔内高热气流对中央支柱体的加热效应，减小中央支柱体的形变以及高热反应气体对中央支柱体表面的刻蚀，以达到延长中央支柱的使用寿命。

主权项

1.一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱，包括中央支柱体(1)、导流螺杆(2)、O型圈(3)、反应腔顶盖(4)、进水管(5)、出水管(6)、上盖(7)、排气窗(8)和反应腔底座(10)，其特征在于，所述中央支柱体(1)外套有隔热外套(9)；所述隔热外套(9)的底部抵接于反应腔底座(10)，其顶部与反应腔顶盖(4)之间留有间隙。