[发明专利]光阻储液罐和光阻涂布机有效
| 申请号： | 201610051609.0 | 申请日： | 2016-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN105499081B | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 孟小龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/11 | 分类号： | B05C11/11;B05C11/10;B08B9/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光阻储液罐，包括储液罐主体、储液管、侦测管、第一液位计和第二液位计，所述储液罐主体具有顶盖和底部；所述储液管设置在所述顶盖上并贯穿所述顶盖，所述储液管包括相对设置的第一端和第二端，所述第一端与所述储液罐主体贯通；所述侦测管的一端与所述底部相连且与所述储液罐主体贯通，所述侦测管的另一端与所述储液管贯通；所述第一液位计设置在所述侦测管上靠近所述底部的一端；所述第二液位计设置在所述侦测管上位于所述底部与所述顶盖之间的位置。本发明还提供了一种光阻涂布机。本发明的光阻储液罐和光阻涂布机，能够简化涂布工艺，提升生产效率；减少光阻消耗，降低生产成本；同时也能够提升涂布质量。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻储液罐 光阻涂布机 | ||
【主权项】：
一种光阻储液罐，包括储液罐主体、侦测管、第一液位计和第二液位计，所述储液罐主体具有顶盖和底部；所述侦测管的一端与所述底部相连且与所述储液罐主体贯通；所述第一液位计设置在所述侦测管上靠近所述底部的一端；所述第二液位计设置在所述侦测管上位于所述底部与所述顶盖之间的位置；其特征在于，所述光阻储液罐还包括储液管，所述储液管设置在所述顶盖上并贯穿所述顶盖，所述储液管包括相对设置的第一端和第二端，所述第一端与所述储液罐主体贯通；所述侦测管的另一端与所述储液管贯通。
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