[发明专利]基于石墨烯的薄膜层叠体及其制造方法有效
| 申请号： | 201610092171.0 | 申请日： | 2016-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN107026246B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 朴种汉;曹承旻;徐顺爱;申召詺;金泰光;金善永 | 申请（专利权）人： | 韩华航空航天公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;孙昌浩 |
| 地址： | 韩国庆尚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种基于石墨烯的薄膜层叠体及其制造方法。所公开的基于石墨烯的薄膜层叠体的制造方法包括将步骤(a)至步骤(d)作为一次循环并将所述一次循环以相同方式重复执行至N次循环的步骤，其中，N次循环是60次以下的循环。另外，本发明还公开了包含有所述基于石墨烯的薄膜层叠体的电极和电子元件。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 石墨 薄膜 层叠 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种基于石墨烯的薄膜层叠体的制造方法，包括将如下的步骤(a)至步骤(d)作为一次循环并将所述一次循环以相同方式重复执行至N次循环的步骤，其中N次循环是60次以下的循环：(a)令转移到常温基板上的石墨烯的表面与非金属前驱气体接触，同时以等离子体进行激活的步骤；(b)利用惰性气体而对与所述非金属前驱气体接触并得到激活的石墨烯表面进行第一次清洗的步骤；(c)使得到清洗的石墨烯表面与金属前驱气体接触的步骤；以及(d)利用惰性气体而对与所述金属前驱气体接触的石墨烯表面进行第二次清洗的步骤。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于韩华航空航天公司，未经韩华航空航天公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610092171.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：裁剪机(A)
- 下一篇：专业护眼灯(VⅢ型)
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
