[发明专利]一种涂胶装置及具有该涂胶装置的纳米压印设备有效
| 申请号： | 201610105073.6 | 申请日： | 2016-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN105597988B | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 王亮;谈浩森;汪仲儒;许凯;张博健;李晨晖 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | B05C1/12 | 分类号： | B05C1/12;B05C11/02;B05C11/04;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涂胶装置，包括用于沾取光刻胶的取胶辊和用于将取胶辊上的光刻胶转移到材料上的转移辊，取胶辊和转移辊可沿自身轴线转动的平行设置在支撑架上，支撑架上还设置有用于调整取胶辊和转移辊之间接触紧密程度的微调件。本发明提供的装置中，用于沾取光刻胶的取胶辊和用于转移光刻胶的转移辊可转动的平行设置在支撑架上，且取胶辊和转移辊之间的间距和接触紧密程度可以通过微调件进行调整，实现对光刻胶传递量的控制，合理控制光刻胶量的同时，节省了材料。本发明还公开了一种包括上述涂胶装置的纳米压印设备，该设备由于设置了上述涂胶装置，可以实现光刻胶量的可控设置和合理配置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 装置 具有 纳米 压印 设备 | ||
【主权项】：
一种涂胶装置，其特征在于，包括用于沾取光刻胶的取胶辊(2)和用于将所述取胶辊(2)上的光刻胶转移到材料上的转移辊(3)，所述取胶辊(2)和所述转移辊(3)可沿自身轴线转动的平行设置在支撑架(1)上，所述支撑架(1)上还设置有用于调整所述取胶辊(2)和所述转移辊(3)之间接触紧密程度的微调件；所述微调件为设置在所述支撑架(1)的通孔中的螺旋微调件，所述螺旋微调件设置在所述转移辊(3)的端部；所述支撑架(1)上设置有刮墨刀架支撑架(10)，所述刮墨刀架支撑架(10)通过楔形的垫片与刮墨刀架(11)连接，所述垫片用于调整所述刮墨刀架支撑架(10)与所述刮墨刀架(11)的角度，所述刮墨刀架(11)上设置有刮墨刀。
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