[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法、显示面板及显示装置有效
| 申请号： | 201610111984.X | 申请日： | 2016-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN107134496B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 单奇;胡坤;林立;刘嵩 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/12;H01L29/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 余毅勤 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板及显示装置，所述薄膜晶体管包括依次形成于柔性衬底上的有源区、栅极绝缘层、栅极、源极、漏极、钝化层以及平坦化层，在所述钝化层与所述平坦化层之间形成有保护层，所述保护层位于所述有源区及所述栅极的正上方；通过保护层对薄膜晶体管垂直区域的半导体材料产生保护作用，从而降低薄膜晶体管部分材料在弯曲过程中受到的应力，避免薄膜晶体管器件在弯曲过程中可能会造成半导体材料的损伤，进而提高器件的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 显示 面板 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，包括依次形成于柔性衬底之上的有源区、栅极绝缘层、栅极、源极、漏极、钝化层以及平坦化层，其特征在于，在所述钝化层与所述平坦化层之间形成有保护层，所述保护层位于所述有源区及所述栅极的正上方，以保护所述保护层所在的垂直区域内的半导体材料；所述保护层的材质为金属，所述栅极采用金属材料；所述保护层在垂直于所述栅极的方向上覆盖所述有源区、栅极、源极及漏极之间的间隙；且位于所述栅极正上方的所述保护层中设有暴露出至少部分所述钝化层顶面的缺口。
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