[发明专利]一种冗余金属填充的方法及系统有效
| 申请号： | 201610119214.X | 申请日： | 2016-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN107153720B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 曹鹤;陈岚;刘建云;石显锋;张贺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06F30/39 | 分类号： | G06F30/39;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;江怀勤 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种冗余金属填充的方法及系统，该方法包括：根据设计要求对不可填充区域进行外扩，得到外扩区域；对所述外扩区域进行余量分析，得到待填充区域；对待填充区域进行矩形化处理，得到各矩形待填充区域；在各矩形待填充区域进行冗余金属填充。由于根据设计要求对不可填充区域进行外扩，并对外扩区域进行余量分析，可以避免现有技术中出现大块空白区域无法进行冗余金属填充的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冗余 金属 填充 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种冗余金属填充的方法，其特征在于，包括步骤：根据设计要求对不可填充区域进行外扩，得到外扩区域；对所述外扩区域进行余量分析，得到待填充区域；对待填充区域进行矩形化处理，得到各矩形待填充区域；在各矩形待填充区域进行冗余金属填充。
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