[发明专利]工艺液体供给方法及装置有效

专利信息
申请号: 201610126910.3 申请日: 2016-03-07
公开(公告)号: CN107170693B 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 张修凯;张宏文 申请(专利权)人: 弘塑科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 翟羽
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明提供一种工艺液体供给方法及装置,所述方法包含:控制第一工艺液体喷洒单元在基板的中心位置的上方停留并喷洒第一工艺液体,同时控制第二工艺液体喷洒单元移动至所述基板的边缘,并且喷洒第二工艺液体;升高所述第一工艺液体喷洒单元的位置,停止所述第一工艺液体的喷洒及控制所述第二工艺液体喷洒单元移动至所述基板的所述中心位置的上方并继续喷洒所述第二工艺液体;以及控制所述第一工艺液体喷洒单元移动至第一原点及所述第二工艺液体喷洒单元自所述中心位置朝远离第二原点的方向移动并继续喷洒所述第二工艺液体。
搜索关键词: 工艺 液体 供给 方法 装置
【主权项】:
一种工艺液体供给方法,适用于基板处理,其特征在于,所述工艺液体供给方法包含:控制一第一工艺液体喷洒单元在所述基板的中心位置的上方停留并喷洒一第一工艺液体,同时控制一第二工艺液体喷洒单元移动至所述基板的边缘,并且开始喷洒一第二工艺液体;升高所述第一工艺液体喷洒单元的位置,停止所述第一工艺液体的喷洒及控制所述第二工艺液体喷洒单元移动至所述基板的所述中心位置的上方并继续喷洒所述第二工艺液体;以及控制所述第一工艺液体喷洒单元移动至一第一原点及所述第二工艺液体喷洒单元自所述中心位置朝远离一第二原点的方向移动并继续喷洒所述第二工艺液体。
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