[发明专利]一种保护环数量的测试方法及装置有效
| 申请号： | 201610130581.X | 申请日： | 2016-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN105652176B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 曹云;林晓帆;于明 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 潘彦君;吴敏 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种保护环数量的测试方法及装置，所述保护环置于PMOS及NMOS之间，所述保护环包括X个P型有源区及Y个N型有源区，X、Y均为自然数，所述方法包括：确定介于所述PMOS及所述NMOS之间的中间区域范围；在所述中间区域范围内，获取与介于所述P型有源区与所述N型有源区之间的区域对应的虚拟层；计算所述虚拟层的数量，作为所述保护环的数量。采用上述方案可以降低保护环数量测试的复杂度及测试时间。 | ||
| 搜索关键词： | 测试方法及装置 中间区域 虚拟层 测试 区域对应 复杂度 | ||
【主权项】：
一种保护环数量的测试方法，其特征在于，所述保护环置于PMOS及NMOS之间，所述保护环包括X个P型有源区及Y个N型有源区，X、Y均为自然数，所述方法包括：确定介于所述PMOS及所述NMOS之间的中间区域范围；在所述中间区域范围内，获取与介于所述P型有源区与所述N型有源区之间的区域对应的虚拟层；计算所述虚拟层的数量，作为所述保护环的数量。
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