[发明专利]电子封装件及其半导体基板与制法有效
申请号: | 201610132896.8 | 申请日: | 2016-03-09 |
公开(公告)号: | CN107123631B | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 赖杰隆;叶懋华;李宏元;彭仕良;吕长伦 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/492 | 分类号: | H01L23/492;H01L21/48;H01L23/31 |
代理公司: | 11314 北京戈程知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种电子封装件及其半导体基板与制法,该半导体基板包括:基板本体、多个贯穿该基板本体的导电穿孔、以及形成于该基板本体中而未贯穿该基板本体的至少一柱体,以于该半导体基板受热时,该柱体能调整该基板本体于上、下侧的伸缩量,使该半导体基板上、下侧的热变形量相等,而避免该半导体基板发生翘曲。 | ||
搜索关键词: | 电子 封装 及其 半导体 制法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体基板,其特征为,该半导体基板包括:/n一基板本体,其表面定义有一中央区与环绕该中央区的外围区;/n多个导电穿孔,其形成于该基板本体的中央区中且贯穿该基板本体;以及/n多个柱体,其形成于该基板本体的外围区中且未贯穿该基板本体,其中,该柱体含有导电材,部分该柱体位于该基板本体的上侧,部分该柱体位于该基板本体的下侧。/n
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