[发明专利]一种薄膜桥火工品桥区的制备方法在审
| 申请号： | 201610133005.0 | 申请日： | 2016-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN105737681A | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 朱雪婷;韩玉成;魏栩曼;严勇;温占福;陈庆红;袁敏生;吕胜权 | 申请（专利权）人： | 中国振华集团云科电子有限公司 |
| 主分类号： | F42B3/198 | 分类号： | F42B3/198 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 550018 贵州省*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜桥火工品桥区的制备方法，具体步骤如下：以FR‑5玻纤板为基板，以聚酰亚胺干膜作为粘结层，采用热压贴合工艺将NiCr合金箔牢固地贴于FR‑5玻纤板上；采用MEMS微机械加工工艺，在NiCr合金箔上光刻出薄膜桥区部分。本发明以FR‑5玻纤板为基板材料，因其导热系数较陶瓷基板的低，可以使薄膜桥区在民用爆破点火过程中点火能量聚集，不易从基板流失，并且因基板具有良好的阻燃性能，可以保护点火电路不被破坏，以免造成不必要的损失；本发明以聚酰亚胺作为粘结层，可解决传统的胶水在热压过程中的流淌对NiCr合金箔造成二次污染的问题；以NiCr合金箔作为薄膜桥区材料，可有效解决点火可靠性与一致性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 桥火工品桥区 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜桥火工品桥区的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：1）以FR‑5玻纤板（1）为基板，以聚酰亚胺（3）干膜作为粘结层，采用热压贴合工艺将NiCr合金箔（2）牢固地贴于FR‑5玻纤板（1）上；2）采用MEMS微机械加工工艺，在NiCr合金箔（2）上光刻出薄膜桥区部分。
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