[发明专利]层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩膜的提取方法及系统在审
| 申请号： | 201610152980.6 | 申请日： | 2016-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN105678800A | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 戴琼海;范静涛;熊博 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩膜的提取方法及系统，其中方法包括以下步骤：S1：获取空间光调制器在预设波长范围下照射形成的图像；S2：对所述图像进行二值化处理得到掩膜标识；S3：对所述图像进行膨胀腐蚀，得到所述掩膜标识的区域。本发明具有如下优点：提高空间光调制器缺陷检测的正确率和效率，提高空间光调制器的生产效率、降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 层叠 结构 空间 调制器 缺陷 检测 中掩膜 提取 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩膜的提取方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：获取空间光调制器在预设波长范围下照射形成的图像；S2：对所述图像进行二值化处理得到掩膜标识；S3：对所述图像进行膨胀腐蚀，得到所述掩膜标识的区域。
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