[发明专利]显示面板的信号线制作方法在审
| 申请号： | 201610153934.8 | 申请日： | 2016-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN105629613A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 姜祥卫 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种显示面板的信号线制作方法。所述信号线制作方法是先于金属膜层上涂布光阻，经过曝光显影后，进一步通过灰化处理去除一定厚度的光阻层，进而一并去除对应曝光区域的残留光阻，以形成图案化的光阻层，之后再进行金属膜层的蚀刻，以形成信号线。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 信号线 制作方法 | ||
【主权项】：
一种显示面板的信号线制作方法，其特征在于：所述显示面板的信号线制作方法包含下列步骤：步骤1：提供一金属膜层；步骤2：涂布一光阻层于所述金属膜层上；步骤3：对所述光阻层进行曝光及显影处理；步骤4：对所述光阻层进行灰化处理，以去除一定厚度的所述光阻层，进而一并去除对应曝光区域的残留光阻，以形成图案化的光阻层；步骤5：对所述金属膜层进行蚀刻处理；以及步骤6：去除所述图案化的光阻层。
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