[发明专利]使用探针卡的方法及系统

摘要

一种使用探针卡的方法及系统。使用探针卡的方法包含多个步骤如下。提供一探针卡装置，探针卡装置的一电路基板的一基准平面具有三个辨识标记；移动探针卡装置，使该基准平面面对载台的晶圆承载面；判断辨识标记所定义出的共面是否平行晶圆承载面；当不平行晶圆承载面时，调整电路基板的水平度，直到基准平面平行晶圆承载面为止。本发明的使用探针卡的方法更容易维持探针卡的测试性能的精准度。

主权项

1.一种使用探针卡的方法，其特征在于，包含：(a)提供一探针卡装置，该探针卡装置具有一电路基板与多个探针，该电路基板的一基准平面具有三个不共线的第一辨识标记，所述第一辨识标记与该基准平面处于同一平面；(b)移动该探针卡装置，使得该基准平面面对一载台的一晶圆承载面；(c)判断所述第一辨识标记所定义出的一第一共面是否平行该晶圆承载面，其中步骤(c)还包含：分别侦测所述第一辨识标记；分析出所述第一辨识标记的座标位置；依据所述第一辨识标记的座标位置，计算出该第一共面于一个三维空间座标系统内的一第一平面函数；判断该第一平面函数是否平行该晶圆承载面的一第二平面函数；以及当判断出该第一平面函数不平行该第二平面函数，则认定该基准平面不平行该晶圆承载面；(d)当判断出该第一共面不平行该晶圆承载面，调整该电路基板的水平度，以致该第一共面平行该晶圆承载面；以及(e)将所述探针触接并测试该晶圆承载面上所承载的一晶圆。