[发明专利]多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具有效

专利信息
申请号: 201610182836.7 申请日: 2016-03-28
公开(公告)号: CN105734564B 公开(公告)日: 2018-06-26
发明(设计)人: 王三胜 申请(专利权)人: 北京鼎臣世纪超导科技有限公司
主分类号: C23C26/00 分类号: C23C26/00;H01L39/24
代理公司: 北京中企鸿阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11487 代理人: 刘葛;郭鸿雁
地址: 100094 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于利用化学溶液法批量化生产大面积单面或双面超导薄膜技术领域,目的是提供一种使用方便、提高生产效率、降低生产成本的新型多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具,基片夹包括多个半圆形固定夹具和半圆形活动夹具,实现了一次烧制多片超导薄膜基片,提高了超导薄膜的生产效率,降低了生产成本,不损伤样品,同时保证了样品的批次一致性。使用时先用镊子夹持基片放入半圆形固定夹具的第一固定爪内,用镊子固定,然后将半圆形活动夹具与半圆形固定夹具扣合,使基片处于基片夹的四个固定爪内,将第一连接耳和第二连接耳固定在一起,即可将半圆形活动夹具与半圆形固定夹具组装在一起,无需进行多余的调整,安装非常方便,节约了安装时间。
搜索关键词: 固定夹具 双面超导薄膜 活动夹具 多片 超导薄膜 基片夹具 生产效率 固定爪 基片夹 连接耳 化学溶液法 批次一致性 镊子 一次烧制 镊子夹 批量化 放入 生产成本 损伤 组装 节约 保证 生产
【主权项】:
1.一种多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具,包括托杆,其特征在于:还包括基片夹,基片夹包括连接杆、半圆形固定夹具、半圆形活动夹具,连接杆上设置一组或多组半圆形固定夹具,每组包括多个半圆形固定夹具,每组的多个半圆形固定夹具沿连接杆的外壁均匀设置,并与连接杆固定连接,每个半圆形固定夹具的内环面上对称设置一对第一固定爪,每个半圆形固定夹具的两端分别设置第一连接耳,半圆形活动夹具的数量与半圆形固定夹具相同,每个半圆形活动夹具的内环面上对称设置一对第二固定爪,第二固定爪的形状与第一固定爪相同,每个半圆形活动夹具的两端分别设置第二连接耳,第二连接耳与第一连接耳可连接在一起,将半圆形活动夹具与半圆形固定夹具组装在一起。
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