[发明专利]瞬间真空提供装置有效
| 申请号： | 201610200863.2 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN105892355B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 张德龙 | 申请（专利权）人： | 威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 何蔚 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种瞬间真空提供装置，其包括：至少一腔室，其与抽真空对象的腔体连通，该腔室与腔体之间还设置有启闭单元；真空泵，其通过管路连接腔室；真空度测量部和真空度调节部，其分别设置于管路、腔室和/或腔体上；处理控制部，其电连接真空度测量部和真空度调节部，真空度测量部实时测量腔室内的真空度并反馈到处理控制部，处理控制部将实时测量的真空度与所需要的真空度进行对比，不符合时控制真空度调节部将腔室内的真空度调节到所需要的真空度。本发明与现有技术相比，可以在低成本和高效率的前提下为需要真空环境的腔体获得瞬间的真空环境，同时对于真空度的控制也更为精确。 | ||
| 搜索关键词： | 真空度测量 真空度调节 腔体 真空提供装置 处理控制部 实时测量 真空环境 腔室 室内 管路连接腔 控制真空度 处理控制 启闭单元 腔体连通 抽真空 低成本 电连接 高效率 真空泵 反馈 | ||
【主权项】：
1.瞬间真空提供装置，其特征在于，包括：至少一腔室，其与抽真空对象的腔体连通，所述腔室与所述腔体之间还设置有启闭单元；真空泵，其通过管路连接所述腔室；真空度测量部，其设置于所述管路、所述腔室和/或所述腔体上，用于测量所述腔室内的真空度；真空度调节部，其设置于所述管路、所述腔室和/或所述腔体上，用于调节所述腔室内的真空度；处理控制部，其电连接所述真空度测量部和所述真空度调节部，所述真空度测量部实时测量所述腔室内的真空度并反馈到所述处理控制部，所述处理控制部将实时测量的真空度与所需要的真空度进行对比，不符合时控制所述真空度调节部将所述腔室内的真空度调节到所需要的真空度；所述启闭单元还与所述处理控制部电连接，所述腔室内的真空度未达到需求时，所述处理控制部控制打开所述启闭单元，所述腔体内的空气快速进入所述腔室后，所述真空度测量部测量所述腔室内的真空度是否达到平衡，如达到则所述处理控制部控制关闭所述启闭单元。
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