[发明专利]机台控制方法和机台控制系统

摘要

一种机台控制方法和机台控制系统，机台控制方法包括：获取第一晶圆和第二晶圆；根据第一晶圆和第二晶圆获得第一制程和第二制程；根据第一制程和第二制程，获得第一腔室数量和第二腔室数量，以及第一时间和为第二时间；根据第一时间和第二时间，结合第一腔室数量和第二腔室数量，获得配置比例；根据配置比例，设定第一产量和第二产量的比值。本发明技术方案根据第一时间和第二时间获得的配置比例，能够缩短腔室的空闲时间，从而提高腔室的利用率，增加机台产量。

主权项

1.一种机台控制方法，所述机台包括至少两个腔室，其特征在于，包括：获取第一晶圆和第二晶圆；根据所述第一晶圆和所述第二晶圆获得第一制程和第二制程，所述机台对所述第一晶圆进行第一制程，对所述第二晶圆进行第二制程，所述第一制程和所述第二制程在不同的腔室内执行；根据所述第一制程和所述第二制程，获得执行第一制程的腔室数量为第一腔室数量和执行第二制程的腔室数量为第二腔室数量，以及执行第一制程的时间为第一时间和执行第二制程的时间为第二时间；根据所述第一时间和所述第二时间，结合所述第一腔室数量和所述第二腔室数量，获得配置比例；根据所述配置比例，设定第一产量和第二产量的比值，使所述第一产量和第二产量的比值与所述配置比例相等。