[发明专利]基材蚀刻处理方法在审
| 申请号： | 201610220167.8 | 申请日： | 2016-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN107295752A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 赖鸿昇 | 申请（专利权）人： | 嘉联益电子(昆山)有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙)11446 | 代理人： | 王月春,刘国伟 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种基材蚀刻处理方法，其包括提供工作药水给二流体喷蚀装置，提供工作气体给二流体喷蚀装置。混合工作药水以及工作气体，生成气液混合喷蚀雾。将气液混合喷蚀雾供给到基材的表面，通过真空吸引装置吸取残留在基材的表面的工作药水。本发明能解决水池效应的问题，并能提高蚀刻因子。 | ||
| 搜索关键词： | 基材 蚀刻 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种基材蚀刻处理方法，其特征在于，包括有下列步骤：提供一工作药水给一二流体喷蚀装置；提供一工作气体给所述二流体喷蚀装置；混合所述工作药水以及所述工作气体，生成一气液混合喷蚀雾；将所述气液混合喷蚀雾供给到一基材的表面；以及通过一真空吸引装置，吸取残留在所述基材的表面的所述工作药水。
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