[发明专利]柔性基板的剥离方法

摘要

本发明提供一种柔性基板的剥离方法，包括提供一多孔金属基板；在多孔金属基板上形成缓冲层；在所述缓冲层上形成柔性基板；将柔性基板放入电解槽中，使多孔金属基板部分浸入电解液中，将多孔金属基板作为阴极，通电对电解液中的水进行电解，多孔金属基板上会释放出氢气，在氢气的作用力下将柔性基板和缓冲层从多孔金属基板上剥离，得到底部留有缓冲层的柔性基板，该方法高效、无损伤，可提高柔性基板的生产良率；剥离柔性基板的速度较快，保证柔性基板上的器件在剥离过程中不会受到影响；另外，多孔金属基板可以重复使用，从而降低生产成本。

主权项

一种柔性基板的剥离方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供一多孔金属基板(10)，所述多孔金属基板(10)为内部具有多个孔洞的金属板，在所述多孔金属基板(10)上形成缓冲层(20)；步骤2、在所述缓冲层(20)上形成柔性基板(30)；步骤3、提供一电解装置(50)，所述电解装置(50)包括一电解槽(51)、及设于电解槽(51)内的阳极(53)；步骤4、在所述电解装置(50)的电解槽(51)内加入电解液；将所述步骤2制得的包括柔性基板(30)、缓冲层(20)、及多孔金属基板(10)的多层板以多孔金属基板(10)朝下的方式放入所述电解槽(51)中，使多孔金属基板(10)与电解液相接触，以所述多孔金属基板(10)为阴极，在所述多孔金属基板(10)与阳极(53)之间接入电源，对电解液中的水进行电解，位于所述多孔金属基板(10)附近以及进入所述多孔金属基板(10)内部孔洞中的水被电解后产生氢气，所述氢气对所述缓冲层(20)施加作用力，将所述缓冲层(20)从所述多孔金属基板(10)上剥离，得到底部留有缓冲层(20)的柔性基板(30)；所述步骤4中，所述多孔金属基板(10)上远离所述柔性基板(30)的一侧浸入电解液中，接近所述柔性基板(30)的一侧暴露于电解液之外。