[发明专利]激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器有效
| 申请号： | 201610251536.X | 申请日： | 2016-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN107306011B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 徐云;宋玉志;宋甲坤;张祖银;陈良惠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/12 | 分类号： | H01S5/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种激光器的侧边耦合光栅的制备方法，包括步骤1：刻蚀制备激光器脊条波导，在脊条波导样品上做好电子束光刻对准标记并涂上光刻胶；步骤2：对涂上光刻胶的脊条波导两侧进行初步电子束曝光；步骤3：确定电子束曝光后的光栅掩膜与脊条波导的距离偏差，并在光栅版图中修正这一偏差；步骤4：利用修正的光栅版图对样品进行正式电子束曝光并显影；步骤5：溅射金属并进行剥离，形成侧边耦合光栅。通过该制备方法，能够制备紧靠脊条波导的完美反馈光栅，为激光器的分布反馈选模提供良好的结构基础，并减少了电子束曝光的时间，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 激光器 侧边 耦合 光栅 及其 制备 方法 包含 | ||
【主权项】：
一种激光器的侧边耦合光栅的制备方法，其特征在于包括以下步骤：步骤1：刻蚀制备激光器脊条波导，在所述脊条波导上做好电子束光刻对准标记并涂上光刻胶；步骤2：对涂上光刻胶的脊条波导两侧进行初步电子束曝光；步骤3：确定电子束曝光后的光栅掩膜与脊条波导的距离偏差，并在光栅版图中修正这一偏差；步骤4：利用修正的光栅版图对样品进行正式电子束曝光并显影；步骤5：溅射金属并进行剥离，形成侧边耦合光栅。
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