[发明专利]一种工艺顺序控制方法和装置有效
| 申请号： | 201610311709.2 | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN107367976B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 刘振华 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工艺顺序控制方法和装置。所述方法包括：对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别，比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别，若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用，若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。本发明实现了对急需处理的第二工艺的插队处理，克服了常用方法必须等到当前处理的第一工艺结束后，才能使用被所述第一工艺当前使用的第一加工设备对急需处理的第二工艺进行处理的缺陷，保证了急需处理的第二工艺的处理进度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工艺 顺序 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种工艺顺序控制方法，其特征在于，所述方法包括：对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别；比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别；若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用；若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。
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