[发明专利]微机电系统装置及其制造方法在审
| 申请号： | 201610334198.6 | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN107399711A | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 曾立天;钱元晧 | 申请（专利权）人： | 苏州明皜传感科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种微机电系统装置包含一第一可动元件以及一第二可动元件，其中第二可动元件与一感测压力的可动薄膜连接，使第二可动元件能够与可动薄膜连动以感测外部环境的压力变化，且形成可动薄膜的基板的其它区域可形成一盖体以保护感测其它物理量的第一可动元件，因此，上述微机电系统装置可借由单一制程整合压力传感器以及感测其它物理量的微机电系统结构于单一微机电系统装置中。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统装置，其特征在于，包含：一第一基板，其一第一表面包含一第一电路、一第二电路以及一第一导电接点；一第二基板，其具有一第二表面、一第三表面以及设置于该第三表面的一第二导电接点，其中该第二基板以该第二表面设置于该第一基板的该第一表面，并与该第一导电接点电性连接，且该第二基板包含：一第一可动元件，其与该第一电路电性连接；以及一第二可动元件，其与该第二电路相对应，且与该第一可动元件电性分离；以及一第三基板，其具有一第四表面以及一第五表面，其中该第三基板以该第四表面设置于该第二基板的该第三表面，并与该第二导电接点电性连接，且该第三基板分为彼此电性分离的一第一盖体以及一第二盖体，其中该第一盖体相应于该第一可动元件设置且与该第一可动元件空间上分离；该第二盖体与该第二可动元件连接，且该第二盖体与该第一基板之间形成一气密空腔。
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