[发明专利]计算存储盒搬运距离的系统及方法有效

专利信息
申请号: 201610338846.5 申请日: 2016-05-20
公开(公告)号: CN107403743B 公开(公告)日: 2019-12-27
发明(设计)人: 韩迪;杨兵;顾成俊;詹琦隆 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明的计算存储盒搬运距离的系统及方法,用于计算存储盒在厂区内的搬运距离,包括:数据存储模块,用于存储每个所述机台的位置及其可完成的工艺操作,所述存储盒所在机台的位置,以及可进行下一工艺操作的机台的位置;距离计算模块,用于计算所述存储盒所在的机台搬运到可进行下一工艺操作的机台之间的距离为L,L=L1+L2+L3,L1为所述存储盒所在的机台与所述主干道之间的距离,L2为进行下一工艺操作的机台与所述主干道之间的距离,所述存储盒所在的工作区与所述主干道之间具有第一交点,进行下一工艺操作的机台所在的工作区与所述主干道之间具有第二交点,L3为所述第一交点与所述第二交点之间的距离。本发明可统计存储盒在生产过程中搬运的距离。
搜索关键词: 计算 存储 搬运 距离 系统 方法
【主权项】:
1.一种计算存储盒搬运距离的系统,用于计算存储盒在厂区内的搬运距离,其特征在于,所述厂区包括主干道以及多个工作区,所述主干道贯穿整个所述厂区,每个所述工作区包括多个机台以及可用于搬运存储盒的移动道,每个所述工作区与所述主干道具有一交点;所述系统包括:/n数据存储模块,用于存储每个所述机台的位置及其可完成的工艺操作,所述存储盒所在机台的位置,以及可进行下一工艺操作的机台的位置;/n距离计算模块,用于计算所述存储盒所在的机台搬运到可进行下一工艺操作的机台之间的距离为L,L=L1+L2+L3,其中,L1为所述存储盒所在的机台与所述主干道之间的距离,L2为进行下一工艺操作的机台与所述主干道之间的距离,所述存储盒所在的工作区与所述主干道之间具有第一交点,进行下一工艺操作的机台所在的工作区与所述主干道之间具有第二交点,L3为所述第一交点与所述第二交点之间的距离;以及/n所述厂区中还具有至少一用于临时存放所述存储盒的存储点,所述存储点位于所述主干道中,且与所述工作区相接触,将所述存储盒在所述存储点和所述机台之间搬运时,所述距离计算模块还用于计算所述存储盒搬运的距离L’,L’=L1’+L2”,其中,L1’为所述机台与所述主干道之间的距离,所述机台所在的工作区与所述主干道之间具有第三交点,L2’为所述存储点与所述第三交点之间的距离。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610338846.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top