[发明专利]防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法在审
| 申请号： | 201610353559.1 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN105785260A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 王玉龙;牛勇;岳小兵;王锦;汤雪飞 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法，在电子吸盘侧壁上均匀设置多个距离传感器，用于检测电子吸盘和探针卡之间的距离，若检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，则发送信号至探针台，所述探针台停止移动所述电子吸盘，并恢复所述电子吸盘至安全距离，从而避免两者发生碰撞，造成探针的弯曲或损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 测试 探针 撞针 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，包括：电子吸盘和位于所述电子吸盘上的多个距离传感器，所述距离传感器均匀分布在所述电子吸盘的侧壁上。
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