[发明专利]有机发光二极管制备方法和制备装置有效
| 申请号： | 201610386041.8 | 申请日： | 2016-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN107464890B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 魏洋;魏浩明;姜开利;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种有机发光二极管的制备方法，包括提供一基底，在该基底表面形成第一电极；提供一蒸发源，该蒸发源包括碳纳米管膜结构及有机发光层源材料，该碳纳米管膜结构为一载体，该有机发光层源材料设置在该碳纳米管膜结构表面，通过该碳纳米管膜结构承载，该有机发光层源材料为该有机发光层的材料或者用于形成该有机发光层的前驱体，该前驱体在蒸镀的过程中反应生成该有机发光层；将该蒸发源与基底具有第一电极的表面相对且间隔设置，并向该碳纳米管膜结构输入电磁波信号或电信号，使该有机发光层源材料蒸发，在该第一电极上蒸镀形成有机发光层；以及在该有机发光层上形成第二电极。本发明还提供一种有机发光二极管的制备装置。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 发光二极管 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种有机发光二极管的制备方法，包括：S1，提供一基底，在该基底表面形成第一电极；S2，提供一蒸发源，该蒸发源包括碳纳米管膜结构及有机发光层源材料，该碳纳米管膜结构为一载体，该有机发光层源材料设置在该碳纳米管膜结构表面，通过该碳纳米管膜结构承载，该有机发光层源材料为该有机发光层的材料或者用于形成该有机发光层的前驱体，该前驱体在蒸镀的过程中反应生成该有机发光层；S3，将该蒸发源与基底具有第一电极的表面相对且间隔设置，并向该碳纳米管膜结构输入电磁波信号或电信号，使该有机发光层源材料蒸发，在该第一电极上蒸镀形成有机发光层；以及S4，在该有机发光层上形成第二电极。
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