[发明专利]一种离子溅射镀膜毛细管喷雾电离装置有效
申请号: | 201610390330.5 | 申请日: | 2016-06-02 |
公开(公告)号: | CN106057630B | 公开(公告)日: | 2017-10-27 |
发明(设计)人: | 马强;王斌;王婉;白桦;郭项雨;孟宪双 | 申请(专利权)人: | 中国检验检疫科学研究院;东莞出入境检验检疫局检验检疫综合技术中心 |
主分类号: | H01J49/16 | 分类号: | H01J49/16;G01N27/62 |
代理公司: | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11416 | 代理人: | 顾珊,庞立岩 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种离子溅射镀膜毛细管喷雾电离装置,包括离子迁移谱主机(1)、镀膜硼硅酸盐玻璃毛细管(3)、支架(4)、金属夹(5)和电源线(6);所述离子迁移谱主机(1)包括电喷雾进样口,设置有透镜,所述镀膜硼硅酸盐玻璃毛细管(3)的前端设置在靠近所述透镜之处,所述支架(4)的前端设置有固定部(2),所述固定部(2)与所述镀膜硼硅酸盐玻璃毛细管(3)相连,所述镀膜硼硅酸盐玻璃毛细管(3)的后端与所述金属夹(5)相连,所述金属夹(5)通过所述电源线(6)与所述离子迁移谱主机(1)相连。本发明所述离子溅射镀膜毛细管喷雾电离装置大大降低了检测成本,提高了检测效率,可用于样品的现场快速检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 离子 溅射 镀膜 毛细管 喷雾 电离 装置 | ||
【主权项】:
一种离子溅射镀膜毛细管喷雾电离装置,其特征在于:包括离子迁移谱主机(1)、镀膜硼硅酸盐玻璃毛细管(3)、支架(4)、金属夹(5)和电源线(6);所述离子迁移谱主机(1)包括电喷雾进样口,在所述电喷雾进样口处设置有透镜,所述镀膜硼硅酸盐玻璃毛细管(3)的前端设置在靠近所述透镜之处,所述支架(4)的前端设置有固定部(2),所述固定部(2)与所述镀膜硼硅酸盐玻璃毛细管(3)相连,所述镀膜硼硅酸盐玻璃毛细管(3)的后端与所述金属夹(5)相连,所述金属夹(5)通过所述电源线(6)与所述离子迁移谱主机(1)的高压输出接口相连;所述镀膜硼硅酸盐玻璃毛细管(3)由硼硅酸盐玻璃毛细管和设置在其外壁上的膜层构成,所述膜层为金属材料;所述金属材料为高纯金、银或铂;所述镀膜硼硅酸盐玻璃毛细管(3)的制备方法包括硼硅酸盐玻璃毛细管的制备和镀膜;所述镀膜包括如下步骤:将制备好的硼硅酸盐玻璃毛细管水平放置在离子溅射仪样品座上,所述硼硅酸盐玻璃毛细管表面距离溅射头6cm,放置于样品座中间位置,为防止所述硼硅酸盐玻璃毛细管滚动,用碳胶固定,并盖紧样品罩,抽真空;溅射气体为高纯氩气,纯度大于99.9%,压力为0.1Mpa,设置溅射靶材、溅射电流、溅射时间;第一次溅射完毕后,将已溅射一侧的所述硼硅酸盐玻璃毛细管转动,重复溅射步骤,直到整个所述硼硅酸盐玻璃毛细管外壁均已完成溅射过程。
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