[发明专利]背板及其制造方法以及靶材组件的制造方法在审

专利信息
申请号: 201610398193.X 申请日: 2016-06-06
公开(公告)号: CN107457495A 公开(公告)日: 2017-12-12
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;张良进 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B23K31/02 分类号: B23K31/02;B23K37/00;C23C14/34;B23K101/40
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司11227 代理人: 高静,吴敏
地址: 315400 浙江省宁波*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供一种背板及其制造方法以及靶材组件的制造方法,所述背板用于与靶坯焊接形成靶材组件,所述背板包括焊接面;凸出于焊接面上的多个环形凸齿,环形凸齿呈相互间隔的同心排布;环形凸齿内具有一个环形第一凹槽,且环形第一凹槽的侧壁与环形凸齿的侧壁构成尖角结构;或者,环形凸齿内具有环形凹槽组,环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽,且相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构,环形第一凹槽的侧壁与环形凸齿的侧壁构成第二尖角结构;相邻环形凸齿的侧壁与位于相邻环形凸齿之间的焊接面围成环形第二凹槽。本发明所述背板的环形凸齿可以嵌入至靶坯的焊接面内,从而可以提高背板和靶坯的焊接结合效果。
搜索关键词: 背板 及其 制造 方法 以及 组件
【主权项】:
一种背板,用于与靶坯焊接形成靶材组件,其特征在于,包括:焊接面;凸出于所述焊接面上的多个环形凸齿,所述多个环形凸齿呈相互间隔的同心排布;所述环形凸齿内具有一个环形第一凹槽,且所述环形第一凹槽的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成尖角结构;或者,所述环形凸齿内具有环形凹槽组,所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽,且相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构,所述环形第一凹槽的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成第二尖角结构;相邻环形凸齿的侧壁与位于所述相邻环形凸齿之间的焊接面围成环形第二凹槽,所述环形第二凹槽的深度不小于所述环形第一凹槽的深度。
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