[发明专利]用于擦拭溅射靶材的转盘及擦拭溅射靶材的方法在审
| 申请号： | 201610402363.7 | 申请日： | 2016-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN107470198A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;宋召东 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B23Q11/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 张亚利,吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于擦拭溅射靶材的转盘及擦拭溅射靶材的方法，包括相对设置的底盘和托盘，所述底盘的盘面和所述托盘的盘面相对，所述托盘和所述底盘可转动连接，使所述托盘能够在所述底盘上方自转；所述托盘的顶面为平面；弹性垫，用于设置在所述托盘的顶面；第一净化布，用于设置在所述弹性垫的上表面。当需要擦拭溅射靶材时，将溅射靶材放置在第一净化布上。旋转托盘带动溅射靶材旋转，并控制另一个第二净化布与溅射靶材的顶面相贴，利用第二净化布与溅射靶材的相对转动擦拭溅射靶材的顶面。在溅射靶材加工成型的过程中，其表面的刀纹路径是旋转的；因此，在溅射靶材旋转的过程中，能够更容易的顺着溅射靶材的刀纹路径擦拭其表面，不易擦花溅射靶材的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 擦拭 溅射 转盘 方法 | ||
【主权项】：
一种用于擦拭溅射靶材的转盘，其特征在于，包括：相对设置的底盘和托盘，所述底盘的盘面和所述托盘的盘面相对，所述托盘和所述底盘可转动连接，使所述托盘能够在所述底盘上方自转；所述托盘的顶面为平面；弹性垫，用于设置在所述托盘的顶面；第一净化布，用于设置在所述弹性垫的上表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610402363.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：剔去烂花生米的方法
- 下一篇：维修便捷的废木块洗涮装置
