[发明专利]扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法

摘要

本发明涉及一种扫描振镜振动参数的测量系统和方法，以解决现有技术测角范围小、频响低、精度低等问题。测量系统包括积分球光源、第一离轴抛物面反射镜、第二离轴抛物面反射镜、单点探测器、信号采集单元和时统设备。积分球光源的出光口处放有正弦光栅；第一离轴抛物面反射镜位于积分球光源的出射光路上；第二离轴抛物面反射镜位于第一离轴抛物面反射镜的出射光路上；待测扫描振镜位于第二离轴抛物面反射镜的出射光路上；单点探测器位于待测扫描振镜反射光束的汇聚点处，以接收正弦光栅像；时统设备用于将待测扫描振镜的电机与单点探测器的信号采集时间同步，并给出待测扫描振镜各角位置所对应的时刻；信号采集单元用于读取单点探测器的输出信号。

主权项

扫描振镜振动参数的测量系统，包括单点探测器、信号采集单元和时统设备；所述时统设备用于将待测扫描振镜的电机与单点探测器的信号采集时间同步，并给出待测扫描振镜振动到各角位置时对应的时刻；所述信号采集单元用于读取单点探测器的输出信号；其特征在于：还包括积分球光源、第一离轴抛物面反射镜和第二离轴抛物面反射镜；所述积分球光源的出光口处放置有正弦光栅，正弦光栅的方向与待测扫描振镜的振动方向平行；所述第一离轴抛物面反射镜位于积分球光源的出射光路上，与积分球光源组成平行光管；所述第二离轴抛物面反射镜位于第一离轴抛物面反射镜的出射光路上；待测扫描振镜位于第二离轴抛物面反射镜的出射光路上，将第二离轴抛物面反射镜的出射光束折转；所述单点探测器位于待测扫描振镜反射光束的汇聚点处，用于接收正弦光栅像；待测扫描振镜的振动会引起所述正弦光栅像的移动；所述第一离轴抛物面和第二离轴抛物面的焦距满足式中，L为正弦光栅的横向尺寸，f₁为第一离轴抛物面反射镜的焦距，f₂为第二离轴抛物面反射镜的焦距，l为单点探测器距扫描振镜振动面的垂轴距离，W为待测扫描振镜的振动面的最大振动角范围；所述单点探测器的前端设置有缝宽可调的狭缝，狭缝的宽度d满足式中，K为正弦光栅的周期。