[发明专利]腔体泄漏检测方法及其装置有效
| 申请号： | 201610464121.0 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN107367356B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 李淳钟;禹奉周;李东锡;柳林水 | 申请（专利权）人： | 塞米西斯科株式会社 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种腔体泄漏检测方法及其装置。腔体泄漏检测方法包括：对所述腔体执行清洗工序后进行等离子体反应的步骤；以及，通过分析所述等离子体反应检测所述腔体的泄漏的步骤。本发明的腔体泄漏检测方法及其装置能够在不影响半导体工序的情况下迅速检测腔体泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 泄漏 检测 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种腔体泄漏检测方法，是检测腔体泄漏的方法，其特征在于，包括：对所述腔体执行清洗工序后进行等离子体反应的步骤；以及通过分析所述等离子体反应检测所述腔体的泄漏的步骤。
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