[发明专利]一种感光元件、指纹识别面板及制备方法、指纹识别装置

摘要

本发明实施例提供一种感光元件、指纹识别面板及制备方法、指纹识别装置，涉及显示技术领域，能够在制作有感光元件的基板上形成其他膜层时，避免对感光元件中的半导体层造成损坏。该感光元件的制备方法包括在衬底基板上形成依次形成第一电极，第一钝化层、第一半导体层、本征半导体层、第二半导体层、第二电极。其中，在第一钝化层对应第一电极的位置通过构图工艺形成第一过孔，第一半导体层通过第一过孔与第一电极相连接；本征半导体层完全覆盖第一半导体层，并覆盖第一半导体层侧面的部分第一钝化层；第二电极完全覆盖第二半导体层的表面，且至少覆盖所述本征半导体层与所述第二半导体层的侧面。

主权项

一种感光元件的制备方法，其特征在于，所述方法包括：在衬底基板上形成第一电极；在形成有所述第一电极的衬底基板上形成第一钝化层，在所述第一钝化层对应所述第一电极的位置通过构图工艺形成第一过孔；在形成有所述第一过孔的衬底基板上通过构图工艺形成第一半导体层，且所述第一半导体层通过所述第一过孔与所述第一电极相连接；在形成有所述第一半导体层的衬底基板上通过构图工艺形成本征半导体层，所述本征半导体层完全覆盖所述第一半导体层，并覆盖所述第一半导体层侧面的部分所述第一钝化层；在形成有所述本征半导体层的衬底基板上通过构图工艺形成第二半导体层；在形成有所述第二半导体层的衬底基板上通过构图工艺形成第二电极，所述第二电极完全覆盖所述第二半导体层的表面，且至少覆盖所述本征半导体层与所述第二半导体层的侧面。